納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量

產品簡介
納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量系統基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲得各種精密器件和材料表面形貌數據，適用于反射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠實現納米級精度測量、重構表面形貌3D輪廓。

產品型號：PZ-Mico D

廠商性質：生產廠家

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實驗檢測儀器

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納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量系統基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲得各種精密器件和材料表面形貌數據，適用于反射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠實現納米級精度測量、重構表面形貌3D輪廓。

納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量技術參數：

型號：PZ-Mico D

測試技術： 3D相干掃描干涉法，抗震算法，移相干涉法

光源：固態白光光源，軟件控制切換光譜（VSI和PSI）

掃描裝置：精密壓電陶瓷驅動，閉環反饋電容控制精密壓電陶瓷

像素分辨率：1280X1024

視場： 10倍范圍1200X950

縱向掃描范圍：25mm

橫向分辨率：0.05-2.68µm

軸向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm

臺階高度精度（示值誤差）±0.1nm（5µm標準臺階）

臺階高度重復性：0 . 1％1σ（5µm標準臺階

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重復性:0.01nm

被測樣品反射率：0.05%-100%

Z軸：電動Z平臺100mm，1μm分辨率）

位移臺：電控平臺移動范圍XY:100x100mm

納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量

產品細節

納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量

應用范圍

納米白光干涉儀表面細微三維形貌測量

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