平面度測量儀常見的幾種測量方式

平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。

平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。

在傳統的檢測方法中，平面度的測量通常有：塞規/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。

塞尺測量法  

塞尺主要用于間隙間距的測量，對平面度的測量只能進行粗測。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時可用一片或數片重疊插入間隙，以稍感拖滯為宜。測量時動作要輕，不允許硬插。也不允許測量溫度較高的零件。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

液平面法

液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐"內的液面構成，然后用傳感器進行測量。基于連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平面。

激光平面干涉儀測量法

典型的用法是平晶干涉法，用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值，但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學透鏡。激光干涉儀現因其體積小，重量輕、無需外接電源的特點被廣泛地應用在光學加工企業，光學檢測機構以及其他要進行光學表面檢測的場合。