晶圓接觸角

接觸角是指在氣、液、固三相交點處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤濕程度的量度；接觸角現有測試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱重法.后者通常稱為潤濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應用廣泛,測值直接與準確的還是外形圖像分析方法，接觸角測量儀采用外形圖像分析方法測量樣品表面親疏水性、潤濕性能、表面張力、表面能等數據的設備

晶圓接觸角測量儀應用：

1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性：包括靜態接觸角，動態接觸角（前進/后退接觸角），接觸角滯后性等；

2、液滴在固體表面的起始滑動角（或滾動角），滑動速度；（擴張功能）

3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為；

4、固體表面自由能，及其各種分子相互作用力（如極性/非極性）的貢獻；

5、液體在固體表面的粘結力、滯留力等；

6、固體表面在經過清洗、處理后的結果（效果）評估：如潔凈度，均勻性，和表面能改變幅度等；

7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動態表/界面張力的測量；

8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現場、在線、實時監測；

9、表面活性物質（如表面活性劑）臨界膠團溶度的測量：包括全自動CMC測量，全自動有關配方的篩選和優化；

10、表面活性物質在界面的吸附、排列、取向、松弛等現象的研究；

11、液體界面的粘彈性和穩定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩定性研究等等各種與液/流/固-體系相關的界面現象和過程的測量和分析等。

12、全自動檢測整體解決方案，可搭配至流水線上使用，提高檢測效率；

二·設備原理解析

我司設備采用的CCD數字攝像機，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統，搭配三維樣品臺，可進行工作臺上下、前后等方向移動。實現微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮桿結構工作臺，能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節，擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測試多次后的結果可以同時保存在同一報告下，能讓用戶更好的對材料數據進行管控。該儀器設計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需

三·技術規格

（一）晶圓接觸角測量儀觸角測量儀主機：

（1）主機使用高強度航空鋁合金結構搭配模塊化設計理念，集成芯片電路控制，保證儀器以狀態運行；

（2）成像部分使用高性能工業機芯及無失真遠心鏡頭確保的成像效果。

（3）工業級可調LED單波長冷光源系統，成像更清晰

（4）自動位移平臺，實現Y、Z自動定位測量，定點地位更，測量效率更高

規格：

1. 主機外形尺寸：1200mm（長）*600mm(寬)* 670mm(高)
2. 主機凈重：55KG
3. 工作臺面尺寸：420mm*420mm
4. 工作臺移動：

前后移動 自動，行程160mm，精度0.01mm
上下移動 手動，行程20mm，精度0.01mm

1. 進樣器移動：自動上下60mm（自動）; 左右30mm
2. 工業鏡頭移動：前后30mm（微調3mm）
3. 工業鏡頭：0.7X *-4.5X高清遠心連續變倍變焦顯微鏡
4. CCD：SONY*高速工業級芯片；60幀/S
5. 鏡頭角度可調試：仰視、平視、俯視多視角觀察
6. 光源：LED可調節藍色基調工業級冷光源；使用壽命達貳萬伍仟小時以上
7. 電源及功率：220V / 60HZ

（二）分析軟件：

（1）接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法（一鍵自動擬合，不存在人工誤差）包括：

圓法擬合（適用于低角度接觸角測量）橢圓/斜橢圓擬合法（適用于高角度接觸角擬合）

LY（應用于120°以上高角度接觸角測量）微分橢圓法/微分圓法（應用于不規則液滴形態接觸角的擬合）

1. 動態接觸角擬合包括：

潤濕性能測試（應用于慢性吸收材料、潤濕材料的表面吸收或潤濕性能測試，批量處理）

視頻擬合（應用于吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試，視頻動態處理）

1. 動態表面/界面張力測量（測量液體整個過程的張力變化趨勢，更準確的判定其真實的表面/界面張力）
2. 表面能量計算（使用多種表面能計算方式測量對固體表面能量進行分析）
3. 粘附功
4. 數據報告（支持WORD、Excel類型數據報告，自動生成晶圓模式數據譜圖）

規格：

1. 接觸角測量范圍：0-180°
2. 接觸角測量精度：±0.1°
3. 表界面張力測量范圍：0-2000mN/m；測量精度：0.01 mN/m
4. 高精度自動滴液系統：軟件高精度滴液系統；滴液精度：0.0 1μl
5. 一鍵式多點測量（可多次循環）：自動進樣→自動接液→軟件自動完成測量→自動換下一個點位
6. 可針對不同樣品設置測量方案并可保存，方便下次再次測量同一類樣品時直接調取測量