橢偏儀SOPRALAB/KLA 在半導體工藝上的應用

公司提供匈牙利Semilab公司SE-2000型、SE-1000光譜型橢偏儀（原法國Sopra公司GES5-E）。WT-2000型、WT-1200A、WT-1200B型、WT-1000型少子壽命測試儀、DLS-83D深能級瞬態譜儀。

SE-2000光譜橢偏儀（原法國Sopra公司）是的橢偏儀設備供應商，其高精度橢偏儀在半導體、化合物半導體（GaAs/SiC）、LCD和MEMS領域有著非常廣泛的應用。目前有超過500臺的Sopra橢偏儀應用在各個行業。

主要特點：

1. 高精度的薄膜測量（膜厚、n值、K值）
2. 家寬光譜型橢偏儀（光譜范圍從深紫外的193nm至遠紅外的25微米）
3. VLSI行業測試標準均使用SOPRA的設備進行標定
4. 較強的可擴展性
5. 微光斑：小可達60微米

SE-2000型橢偏儀

SE-2000是一款的模塊化光學測試平臺，是一款具有可旋轉補償的光譜型橢偏儀。它是一種非接觸式和非破壞性的光學測試方法，可以測試基底上的單層膜和多層膜，從而獲得薄膜的厚度和光學特性。該系統具有強大的模塊和多功能設計，可以滿足從簡單到復雜的應用的需求，如偏振測量、散射測量和利用米勒矩陣的橢圓偏振測量技術。它有一個特別的獨立的可選擇角度的臂，和小的光點尺寸。SE-2000型橢便儀具有目前市場上寬的光譜范圍，選擇了選件FTIR橢便儀測試頭，在同一個可見光測試臂上實現光譜范圍從深紫外（193nm）到中紅外的25μm。

它可以使用光譜儀和探測器陣列進行快速檢測，也可以使用分光計和單點探測器進行高分辨率的檢測，也可以再同一工具上同時使用兩種模式

SE-2000橢便儀包括Semilab的智能電子產品，可互換部件，并能使用新一代的操作和分析軟件（SAM/SEA）進行操作和分析。該系統可以使用計算機或者筆記本電腦通過局域網或新的觸摸屏界面來控制。

SE-2000型橢便儀可以和Semilab其他測量儀器結合使用，比如4PP方塊電阻測量、渦流測量、μ-PCR、拉曼測量、光致發光測量等。

應用：

1）光電子

LED, 光電子產品: AlGaN, GaN, InP等材料測試.

光學反射膜,增透膜, III-V電子器件(EEL, VCSEL, ECL)

MEMS

Sol-Gel/多孔膜

2）太陽能電池應用:

薄膜和硅太陽能電池、納米結構電池等

透明導電氧化物、納米點、納米線、碳納米管CNT等

3）有機物:

OLED, OPV, 傳感器, OTFT

4）半導體：

高k材料、柵氧化層、氮化硅、低K材料等

互聯線、光刻膠等

外延層: SOI, SiGe, Strained Si, SiC, Poly

5）平面顯示:

TFT-LCD, LTPS, IGZO, OLED, 電致變色膜

6）其他應用:

鐵電材料 (BST, SBT, PZT)

燃料電池SOFC, 多孔電極

石墨烯

3D材料、周期性結構材料