光學膜厚儀Filmetrics F20UVX在半導體制造的應用

Filmetrics F20薄膜測厚儀

經濟有效的Filmetrics薄膜厚度測量系統,測量薄膜厚度僅需幾秒鐘。Filmetrics系列膜厚測試儀擁有單點測量、顯微鏡斑點測量、自動測繪系統、在線監測等功能型號的膜厚測試儀產品。Filmetrics 膜厚測試儀產品輕點鼠標就能測量1納米到13毫米的單層薄膜或多層薄膜堆厚度。幾乎所有的材料都可以被測量。直觀的設計意味著您能在幾分鐘內完成個薄膜厚度測量！
產品介紹：
1 有五種不同波長選擇(波長范圍從紫外220nm至近紅外1700nm)；
2 大樣品薄膜厚度的測量范圍是：3nm ～ 25um；
3 精度為好于0.1nm。

產品特性：
1 、操作簡單、使用方便；
2 、測量快速、準確；
3 、體積小、重量輕；
4 、價格便宜。

產品應用：
1 、半導體行業: 光阻、氧化物、氮化物；
2 、 LCD 行業: 液晶盒間隙厚度、 Polyimides；
3 、光電鍍膜應用: 硬化膜、抗反射膜、濾波片。

的技術
我們通過分析光如何從薄膜反射來測量薄膜厚度。通過分析肉眼看不見的光譜我們能測量幾乎所有超過100原子厚度的非金屬薄膜。因為不涉及任何移動設備，幾秒鐘之內就能測出：薄膜厚度，折射率，甚至粗燥度！